Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Main
Engineering
Rapid Thermal Processing of...

Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Name: Rapid Thermal Processing of Semiconductors
ISBN: 9781489918062

Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh (auth.)

0 / 0

0 comments

Jak bardzo podobała Ci się ta książka?

Jaka jest jakość pobranego pliku?

Pobierz książkę, aby ocenić jej jakość

Jaka jest jakość pobranych plików?

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

Kategorie:

Engineering

Rok:

1997

Wydanie:

Wydawnictwo:

Springer US

Język:

english

Strony:

358

ISBN 10: